材质特氟龙
规格4寸
耐温260℃
型号RNKS-HL
承载容量25片
耐高温10~260℃
承载容量：25片
适用晶圆尺寸：2寸、2.5寸、3寸、4寸、5寸、6寸
将装有待腐蚀硅片的片架放入浸润剂（FUJI FILM DRIWEL）中浸泡10—15S，上下晃动，浸润剂（FUJI FILM DRIWEL）的作用是减小硅片的表面张力，使得腐蚀液和二氧化硅层接触，从而达到充分腐蚀；
将片架放入装有二氧化硅腐蚀液（氟化铵溶液）的槽中浸泡，上下晃动片架使得二氧化硅腐蚀充分，腐蚀时间可以调整，直到二氧化硅腐蚀干净为止
二氧化硅腐蚀液腐蚀会伤及铝层，所以一般采用如下腐蚀液：冰乙酸：氟化铵=2：3。
将装有待腐蚀硅片的片架放入浸润剂（FUJI FILM DRIWEL）中浸泡10—15S；
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